トップページ ≫クリーンルーム用品≫無塵紙ウエハーボックス/スペーサー（クリーンルーム用紙ケース/クッション挿間紙）
前のページに戻るには、ブラウザの「戻る」を押してください。
図面（PDF形式）をご覧になるには、AcrobatReaderが必要です。 |
 |
|
 |
 図面（PDF形式ファイル ---KB） |
|
無塵紙ウエハーボックス・スペーサー
（クリーンルーム用 ウエハーケース・クッション挿間紙） |
 |
| 特 徴 |
■クリーンペーパー（無塵紙）を加工した製品です。
■破れ、擦り、揉みを行っても粉塵がほとんど出ません。
■クリーンルーム内で安心して使用できます。
■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
■燃えるゴミとして廃棄できます。
|
|
| 用 途 |
●クリーンルーム内で紙箱ケース/ボックスを使用する時。
●半導体ウエハーの保管・運搬送に。
●クリーンルーム内で使用する合紙（挿間紙）として。 |
|
|
|
 クリーンルーム内で紙箱を使用する
|
|
一般の紙箱ケースやボックス類は塵や埃の粉塵を吸着または発生するためにクリーンルームでは使用 |
|
 |
|
しません。クリーンルーム専用に設計された「無塵紙ウエハーボックス」を使用します。 |
|
|
|
この製品は半導体ウエハーに最適な円筒形形状になっており、 「ウエハースペーサー」を合紙として使用 |
|
|
|
することで安全に保管・運搬送ができます。 |
|
|
|
「ウエハースペーサー」は表面に約20μ の凹凸エンボス加工を施す事で 、紙自体の厚さをあまり変えずに |
|
|
|
クッション性能と剥離性能を向上させた製品です。 |
|
|
|
これらの製品はクリーンペーパー（無塵紙）でできているため、破ったり擦ってもほとんど発塵しません。 |
|
|
|
安心してクリーンルーム内で使用することができます。 |
|
|
|
|
|
| 製品詳細 |
|
| クリーン無塵紙ウエハーケース （φ130㎜・φ155㎜） |
 |
クリーンルームの中で使用できる半導体ウエハー用ケースです。
ウエハーの搬送および保管用として設計されていますが、クリーンルーム内で使用できる紙ケースとして他の用途にも使用されます。
この製品はクリーン用紙（無塵クリーンペーパー）を使用していますので、発塵を気にせず安心してクリーンルーム内で使用できます。
ウエハーケースとして使用するときは、ウエハースペーサーを併用します。 |
|
|
| 無塵紙ウエハースペーサー （エンボス加工品） |
 |
クリーンルームの中で使用可能なクッション挿間紙（合紙）です。ウエハーを重ねて運搬・保管する際に、ウエハーの間に敷いて使用します。
この製品はクリーン用紙（無塵クリーンペーパー）を使用していますので、発塵、異物付着、擦り傷、耐電などのトラブルを未然に防ぎます。また、表面は約20μの凹凸エンボス加工が施されていますので、紙の厚さをあまり上げることなくクッション性能・剥離性能が向上します。
他の用途で使用する場合、指定形状に加工することもできます。 |
|
|
| スペーサー 規格サイズ |
| ウエハーサイズ [inch] |
直径 [mm] |
| ４" |
１００ |
| ５" |
１２５ |
| ６" |
１５０ |
| ８" |
２００ |
| １２" |
３００ |
|
| ※上記以外の形状も可能です。 |
|
|
