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| クリーンルーム用 ウエハー保管ケース用品シリーズ |
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  クリーンルームでウエハーを安全に保管・搬送する方法
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ウエハーを安全に保管・搬送するには、最低限以下の製品が必要です。 |
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●ウエハー用ケース・外側容器 |
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●ウエハー同士の間に挟む合紙・挿間紙 |
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●底面・上面に敷くクッション材 |
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一般的な文具は使わず専用品として設計された以下の製品を使用します。 |
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良質な製品はあらゆるトラブルを抑えますが、粗悪な製品では対応できません。 |
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安定した作業を継続するには高品質な製品を選定する必要があります。 |
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| ウエハー用無塵紙ケース MK-WBP |
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写真ｸﾘｯｸで詳細ﾍﾟｰｼﾞへ |
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| ●クリーンペーパー（無塵紙）を加工した製品です。 |
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| ●破れ、擦り、揉みを行っても粉塵がほとんど出ません。 |
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| ●JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。 |
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| ●燃えるゴミとして廃棄できます。 |
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| ●クリーンルーム内で安心して使用できます。 |
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| ●５ｲﾝﾁと６ｲﾝﾁの２種類のみ規格ｻｲｽﾞがあります。 |
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| 導電性樹脂ケース MK-WBR |
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写真ｸﾘｯｸで詳細ﾍﾟｰｼﾞへ |
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| ●長期間安定した特性を発揮する導電性樹脂を使用。 |
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| ●蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"を除く） |
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| ●蓋を閉じて約10度回すとﾛｯｸが可能。（8"および12"のみ） |
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| ●安定した段積みが可能な勘合形状です。 |
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| ●表面抵抗値は108[Ω]以下と非常に優れています。 |
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| ●５ｲﾝﾁから１２ｲﾝﾁまで規格ｻｲｽﾞがあります。 |
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| 導電性ウエハー用クッション TN-CWC |
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写真ｸﾘｯｸで詳細ﾍﾟｰｼﾞへ |
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| ●導電性ｸﾘｰﾝﾌｫｰﾑMK-CPF を加工した製品です。 |
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| ●ﾋﾟﾝｸの帯電防止とは違い、永久帯電防止&ﾌﾞﾘｰﾄﾞなし。 |
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| ●一般の発泡ｸｯｼｮﾝとは違い、残渣が無く粉塵を防止。 |
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| ●低VOC（揮発性有機化合物）&金属腐食ﾌｫｷﾞﾝｸﾞを防止。 |
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| ●表面抵抗値は１×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。 |
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| ●５ｲﾝﾁから１２ｲﾝﾁまで規格ｻｲｽﾞがあります。 |
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| ウエハー用クリーン合紙 MK-WSF/WSE |
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写真ｸﾘｯｸで詳細ﾍﾟｰｼﾞへ |
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| ●クリーンペーパー（無塵紙）を加工した製品です。 |
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| ●クリーンルームにて加工後真空パックしています。 |
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| ●破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。 |
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| ●JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。 |
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| ●表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの２種類。 |
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| ●５ｲﾝﾁから１２ｲﾝﾁまで規格ｻｲｽﾞがあります。 |
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図面（PDF形式ファイル ---KB）