空気清浄度とは

タニムラ株式会社

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空気清浄度

クリーンルーム関連で用いられる空気清浄度とは、一定範囲内における粉塵量の定義です。
空気中に浮遊することができる小さな埃などの粒子や微生物の数量は、設定されているクラスに応じて下の表のように決められています。

粉塵個数(1m3内) クリーンルームの規格・クラス
粒径 0.1μm 粒径 0.5μm ISO 14664 -1 JIS B 9920 Fed 209D
10 Class 1 クラス 1
100 4 Class 2 クラス 2
350 10
1,000 35 Class 3 クラス 3 クラス 1
3,500 100
10,000 352 Class 4 クラス 4 クラス 10
35,000 1,000
100,000 3,520 Class 5 クラス 5 クラス 100
10,000
1,000,000 35,200 Class 6 クラス 6 クラス 1000
100,000
352,000 Class 7 クラス 7 クラス 10000
1,000,000
3,520,000 Class 8 クラス 8 クラス 100000
10,000,000
35,200,000 Class 9
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