タニムラ株式会社

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クリーンルーム用緩衝材
導電性クリーンフォーム MK-CPF
静電気帯電防止のESDスポンジフォーム
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特  徴
■一般の帯電防止品(ピンクとは違い、永久帯電防止。
■低VOC(揮発性有機化合物)の素材です。
■一般の発泡フォームとは違い、残渣が無くクリーン。
■一般PE発泡体特有の臭いがありません。
■表面抵抗値は、1×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
■金属腐食やフォギングの心配がありません。
用  途
●クリーンルームで使う保護材・緩衝材として。
●発塵を抑えた保温断熱材・軽量化材料として。
●電子部品や機器類の通い箱用緩衝材として。
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
●発泡体からの化学物質の発生を抑えたい時。
●ご指定の形状への加工も承ります。
低VOC・FOG導電性無塵フォーム・クリーンルーム用緩衝材・静電気帯電防止PEスポンジフォーム
導電性クリーンフォーム [MK-CPF]
■化学発泡剤を一切使用せずに製作したPEフォームです。
■発泡剤の残渣がなく、低VOCかつ特有の臭いがありません。
■一般的なピンク・ブルーと違い、帯電防止効果が半永久的に発揮します。
■原反サイズ…1000×1900㎜(厚さ1~33㎜)
■貼り合わせや型抜きで加工致します。
 表面抵抗値   107 [Ω] 

一般的なクッション材には、発泡スポンジ材やエアーキャップなど様々な緩衝材があります。
しかしこれらの製品は、製造課程で使用する発泡剤の残渣や、プチプチ粒の破裂時に粒内の空気が外部に漏出するため、クリーンルーム内の作業には対応できません。
一方 本製品は、製造時に発泡剤を一切使用せず、「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
また一般的な帯電防止材料(ピンクやブルー着色)とは違い、長期的に静電気防止効果を発揮します。
さらに一般の帯電防止品とは違い、帯電防止剤が表面にブリード(析出)して発塵することがありません。低VOC(揮発性有機化合物)製品であるため、金属腐食やフォギングの心配がありません。
もちろん、化学発泡剤が原因である「発泡PEフォーム特有の臭い」もありません。
安定した静電気対策を必要とする「クリーンなESD対策緩衝材」として、様々な用途で使用します。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアーブローなどで表面清掃を行ってください。

試験データ および 加工例

クリーンフォーム[MK-CPF] の加工例

型抜き加工のサンプル写真。低VOC・FOG導電性無塵フォーム/クリーンルーム用発泡ポリエチレン帯電防止PEスポンジフォーム緩衝材
【 型抜き加工 】
貼り合わせ+型抜き加工。低VOC・FOG導電性無塵フォーム/クリーンルーム用発泡ポリエチレン帯電防止PEフォーム緩衝材
【 貼り合わせ+型抜き加工 】
■加工後に出荷することができます。

四角形カット:原反は1000×1900㎜(厚さ1~33㎜)。 貼り合わせで厚さアップ可能。
型抜き:筒状、三角形、菱形、中抜きなどあらゆる形状に刃型を製作して加工致します。
貼り合わせ:粘着剤を塗布して材料同士を貼り合わせます。
粘着仕様:粘着剤を塗布します。 シールのように剥離紙をはがして接着できます。
※剥離紙はクリーン対応しておりません。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアーブローなどの表面清掃を行ってください。



2.一般品との発生ガス比較 VOC/FOG
VOC値 [ppm] FOG値 [ppm]
本製品 161.3 37.6
化学発泡PEフォーム(汎用品) 355.2 418.1
※試験方法
サンプル7mgをガラスチューブに入れ、熱脱着装置にかける。
発生ガスをGC-MSにかけて分析を行った。
熱脱着条件:VOC値/90℃×30分間 FOG値/120℃×60分間
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)



3.素材のパーティクル(粉塵)測定データ [個/CF]
粒 径[μm] 0.3 0.5 0.7 1.0 2.0 3.0
N=1 191 150 125 98 56 35
N=2 419 316 272 226 132 93
N=3 387 270 233 181 107 59
平均値 332 245 210 168 98 62
※試験方法
IES-RP-CC0003-87-T基準 タンブラー法
気流垂直型クリーンベンチ内にて、一定速度で回転するタンブラーに資料を1個投入。
約10秒後にタンブラー内部のエアーを、レーザー式パーティクルカウンターで測定した。
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)

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