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クリーンルーム対応 導電性ウエハー用クッション TN-CWC
（静電気帯電防止クリーンルーム用クッション・緩衝材） |
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| 特 徴 |
■導電性ｸﾘｰﾝﾌｫｰﾑMK-CPF を加工した製品です。
■ﾋﾟﾝｸの帯電防止とは違い、永久帯電防止&ﾌﾞﾘｰﾄﾞなし。
■一般の発泡ｸｯｼｮﾝとは違い、残渣が無く粉塵を防止。
■低VOC（揮発性有機化合物）の素材です。
■表面抵抗値は１×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
■金属腐食やフォギングの心配がありません。 |
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| 用 途 |
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
●クリーンルームで使用する保護材・緩衝材として。
●発塵を抑えた保温断熱材・緩衝梱包・軽量化材料として。
●電子部品や機器類の通い箱用緩衝材として。
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
■その他ｳｴﾊｰ用ｹｰｽ・ｸｯｼｮﾝなどは…≫ |
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 クリーンな導電性（帯電防止）発泡材
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本製品には導電性ｸﾘｰﾝﾌｫｰﾑMK-CPF を使用しております。 |
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●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。 |
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●一般的な帯電防止材料（ﾋﾟﾝｸやﾌﾞﾙｰ色）とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。 |
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●ﾋﾟﾝｸやﾌﾞﾙｰとは違い、帯電防止剤が表面にﾌﾞﾘｰﾄﾞ（析出）することがありません。 |
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●低VOC（揮発性有機化合物）製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。 |
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●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材（クッション材）特有の臭い」もありません。 |
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※ｸﾘｰﾝﾊﾟｯｸ品ではありませんので、必要な場合はｴｱﾌﾞﾛｰなどの表面清掃を行ってください。 |
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| 試験データ および 写真 |
| １．製品の詳細写真 |
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| ２．規格サイズ |
| インチ |
型番 |
厚さ×直径 |
出荷単位 |
| ５インチ |
TN-CWC5-3 |
３×φ１２５㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC5-5 |
５×φ１２５㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC5-10 |
１０×φ１２５㎜ |
１００枚 |
| ６インチ |
TN-CWC6-3 |
３×φ１５０㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC6-5 |
５×φ１５０㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC6-10 |
１０×φ１５０㎜ |
１００枚 |
| ８インチ |
TN-CWC8-3 |
３×φ２００㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC8-5 |
５×φ２００㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC8-10 |
１０×φ２００㎜ |
１００枚 |
| １２インチ |
TN-CWC12-3 |
３×φ３００㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC12-5 |
５×φ３００㎜ |
１００枚 |
| TN-CWC12-10 |
１０×φ３００㎜ |
１００枚 |
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| ３．一般品との発生ガス比較 VOC/FOG |
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VOC値 [ppm] |
FOG値 [ppm] |
| 本製品 |
161.3 |
37.6 |
| 化学発泡PEフォーム（汎用品） |
355.2 |
418.1 |
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※試験方法
サンプル7mgをガラスチューブに入れ、熱脱着装置にかける。
発生ガスをGC-MSにかけて分析を行った。
熱脱着条件：VOC値/90℃×30分間 FOG値/120℃×60分間
（数値は実測値であり、保証値ではありません。） |
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| ４．パーティクル（粉塵）測定データ [個/CF] |
| 粒 径 |
≦0.3μm |
≦0.5μm |
≦0.7μm |
≦1.0μm |
≦2.0μm |
≦3.0μm |
≦5.0μm |
| ｻﾝﾌﾟﾙ1 |
191.7 |
150.7 |
125.7 |
98.3 |
56.3 |
35.7 |
24.7 |
| ｻﾝﾌﾟﾙ2 |
419.7 |
316.7 |
272.7 |
226.3 |
132.3 |
93.0 |
68.7 |
| ｻﾝﾌﾟﾙ3 |
387.3 |
270.0 |
233.0 |
181.7 |
107.0 |
59.0 |
38.7 |
| 平均値 |
332.9 |
245.8 |
210.5 |
168.8 |
98.5 |
62.6 |
44.0 |
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※試験方法
IES-RP-CC0003-87-T基準 タンブラー法
気流垂直型クリーンベンチ内にて、一定速度で回転するタンブラーに資料を1個投入。
約10秒後にタンブラー内部のエアーを、レーザー式パーティクルカウンターで測定した。
（数値は実測値であり、保証値ではありません。） |
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カタログ（PDF形式ファイル 197KB）