クリーンルーム用ウエハー用導電性クッション緩衝材・帯電防止クリーンルーム用クッション緩衝材

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  • ページ番号:M217

クリーンルーム対応・静電気対策
導電性ウエハー用クッション TN-CWC
ESD帯電防止・衝撃緩衝材
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特  徴
導電性クリーンフォームMK-CPF を加工した製品。
■ピンクの制電材とは違い、添加剤の粉体が発生しません。
■一般の発泡クッションとは違い、残渣が無く粉塵を防止。
■低VOC(揮発性有機化合物)の素材です。
■表面抵抗値は1×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
■金属腐食やフォギングの心配がありません。
用  途
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
●クリーンルームで使用する保護材・緩衝材として。
●発塵を抑えた保温断熱材・緩衝・軽量化材料として。
●電子部品や機器類の通い箱用緩衝材として。
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
■他ウエハー用ケース・クッションは…≫

本製品には導電性クリーンフォームMK-CPF を使用しております。
●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
●一般的な帯電防止材料(ピンク・ブルー色)とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。
●ピンクやブルーとは違い、帯電防止剤が表面にブリードアウト(析出)することがありません。
●低VOC(揮発性有機化合物)製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。
●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材(クッション材)特有の臭い」もありません。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアーブローなどの表面清掃を行ってください。

試験データ および 写真

1.製品の詳細写真
導電性ウエハー用クッション材です。クリーンルーム用緩衝材フォームを使用しています。
導電性ウエハー用クッション [TN-CWC]
●化学発泡剤を一切使用せずに製作したPEフォームです。
●発泡剤の残渣がなく低VOCかつ特有の臭いがありません。
●安定した帯電防止効果を半永久的に発揮します。
●帯電防止剤の粉が発生(ブリードアウト)しません。
導電性クリーンフォームMK-CPFを使用しています。
■他ウエハー用ケース・クッションは…≫

表面抵抗値 107 [Ω]



2.規格サイズ
インチ 型番 厚さ×直径 出荷単位
5インチ TN-CWC5-3  3×φ125㎜ 100枚
TN-CWC5-5  5×φ125㎜ 100枚
TN-CWC5-10 10×φ125㎜ 100枚
6インチ TN-CWC6-3  3×φ150㎜ 100枚
TN-CWC6-5  5×φ150㎜ 100枚
TN-CWC6-10 10×φ150㎜ 100枚
8インチ TN-CWC8-3  3×φ200㎜ 100枚
TN-CWC8-5  5×φ200㎜ 100枚
TN-CWC8-10 10×φ200㎜ 100枚
12インチ TN-CWC12-3  3×φ300㎜ 100枚
TN-CWC12-5  5×φ300㎜ 100枚
TN-CWC12-10 10×φ300㎜ 100枚





3.一般品との発生ガス比較 VOC/FOG
VOC値 [ppm] FOG値 [ppm]
本製品 161.3 37.6
化学発泡PEフォーム(汎用品) 355.2 418.1
※試験方法
サンプル7mgをガラスチューブに入れ、熱脱着装置にかける。
発生ガスをGC-MSにかけて分析を行った。
熱脱着条件:VOC値/90℃×30分間 FOG値/120℃×60分間
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)



4.パーティクル(粉塵)測定データ [個/CF]
粒 径[μm] 0.3 0.5 0.7 1.0 2.0 3.0
N=1 191 150 125 98 56 35
N=2 419 316 272 226 132 93
N=3 387 270 233 181 107 59
平均値 332 245 210 168 98 62
※試験方法
IES-RP-CC0003-87-T基準 タンブラー法
気流垂直型クリーンベンチ内にて、一定速度で回転するタンブラーに資料を1個投入。
約10秒後にタンブラー内部のエアーを、レーザー式パーティクルカウンターで測定した。
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)

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