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クリーンルーム対応・静電気対策
導電性ウエハー用クッション TN-CWC
ESD帯電防止・衝撃緩衝材 |
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特 徴 |
■導電性クリーンフォームMK-CPF を加工した製品。
■ピンクの制電材とは違い、添加剤の粉体が発生しません。
■一般の発泡クッションとは違い、残渣が無く粉塵を防止。
■低VOC(揮発性有機化合物)の素材です。
■表面抵抗値は1×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
■金属腐食やフォギングの心配がありません。 |
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用 途 |
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
●クリーンルームで使用する保護材・緩衝材として。
●発塵を抑えた保温断熱材・緩衝・軽量化材料として。
●電子部品や機器類の通い箱用緩衝材として。
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
■他ウエハー用ケース・クッションは…≫ |
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クリーンな導電性(帯電防止)発泡材 |
本製品には導電性クリーンフォームMK-CPF を使用しております。
●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
●一般的な帯電防止材料(ピンク・ブルー色)とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。
●ピンクやブルーとは違い、帯電防止剤が表面にブリードアウト(析出)することがありません。
●低VOC(揮発性有機化合物)製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。
●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材(クッション材)特有の臭い」もありません。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアーブローなどの表面清掃を行ってください。
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試験データ および 写真 |
1.製品の詳細写真 |
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2.規格サイズ |
インチ |
型番 |
厚さ×直径 |
出荷単位 |
5インチ |
TN-CWC5-3 |
3×φ125㎜ |
100枚 |
TN-CWC5-5 |
5×φ125㎜ |
100枚 |
TN-CWC5-10 |
10×φ125㎜ |
100枚 |
6インチ |
TN-CWC6-3 |
3×φ150㎜ |
100枚 |
TN-CWC6-5 |
5×φ150㎜ |
100枚 |
TN-CWC6-10 |
10×φ150㎜ |
100枚 |
8インチ |
TN-CWC8-3 |
3×φ200㎜ |
100枚 |
TN-CWC8-5 |
5×φ200㎜ |
100枚 |
TN-CWC8-10 |
10×φ200㎜ |
100枚 |
12インチ |
TN-CWC12-3 |
3×φ300㎜ |
100枚 |
TN-CWC12-5 |
5×φ300㎜ |
100枚 |
TN-CWC12-10 |
10×φ300㎜ |
100枚 |
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3.一般品との発生ガス比較 VOC/FOG |
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VOC値 [ppm] |
FOG値 [ppm] |
本製品 |
161.3 |
37.6 |
化学発泡PEフォーム(汎用品) |
355.2 |
418.1 |
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※試験方法
サンプル7mgをガラスチューブに入れ、熱脱着装置にかける。
発生ガスをGC-MSにかけて分析を行った。
熱脱着条件:VOC値/90℃×30分間 FOG値/120℃×60分間
(数値は実測値であり、保証値ではありません。) |
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4.パーティクル(粉塵)測定データ [個/CF] |
粒 径[μm] |
0.3 |
0.5 |
0.7 |
1.0 |
2.0 |
3.0 |
N=1 |
191 |
150 |
125 |
98 |
56 |
35 |
N=2 |
419 |
316 |
272 |
226 |
132 |
93 |
N=3 |
387 |
270 |
233 |
181 |
107 |
59 |
平均値 |
332 |
245 |
210 |
168 |
98 |
62 |
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※試験方法
IES-RP-CC0003-87-T基準 タンブラー法
気流垂直型クリーンベンチ内にて、一定速度で回転するタンブラーに資料を1個投入。
約10秒後にタンブラー内部のエアーを、レーザー式パーティクルカウンターで測定した。
(数値は実測値であり、保証値ではありません。) |
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