タニムラ株式会社

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中性無塵紙・クリーンペーパー製品
ウエハー用クリーン合紙 MK-WSF・WSE
クリーンルーム対応・ウエハーに挟むスペーサー挿間紙
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特  徴
■中性のクリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品。
■クリーンルームで加工後、真空パックしています。
■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
■RoHSやREACHの有害物質規制に該当しません。
■表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの2種類。
用  途
●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。
●クリーンルーム内で使用する合紙(挿間紙)として。
●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上。
導電性クリーンペーパーでも製作できます。
■他ウエハー用ケース・クッションは…≫
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。無塵紙(クリーンペーパー)製。
ウエハー用クリーン合紙MK-WSE
(エンボスタイプ)

一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
ウエハーの合紙(挿間紙)を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
表面に微少なエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの2種類から選択できます。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、「フラットタイプ」よりもクッション性と剥離性が向上します。
本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑える中性のクリーンペーパー(無塵紙)を使用しています。
それらをクリーンルームで加工をして、その後真空パック(クリーンパック)を行います。
中性紙なので、接触する製品の腐食反応を防止します。
「ウエハー用クリーン合紙」を挿間紙スペーサーとして使用することで、安心して保管・運搬ができます。

製品詳細

1. ウエハークリーン合紙の種類
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。表面にエンボス加工済み。無塵紙(クリーンペーパー)製。
エンボスタイプ MK-WSE
●表面に20μ厚×3㎜角にてエンボス加工済み。
●微少な凹凸でクッション性と剥離性が向上
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●クリーンルームで加工→真空パック品。(クリーンパック)
●厚さ:70μ+エンボス20μ
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。表面は平坦なフラット。無塵紙(クリーンペーパー)製。
フラットタイプ MK-WSF
●表面はエンボスがないフラットな一般型です。
●ウエハーの間に挟んで傷付きやガタを防止します。
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●クリーンルームで加工→真空パック品。(クリーンパック)
●厚さ:70μ
■他ウエハー用ケース・クッションは…≫


 2. 規格サイズ 
型 番 インチ 直 径 [mm]
MK-WSF4 / WSE4 100
MK-WSF5 / WSE5 125
MK-WSF6 / WSE6 150
MK-WSF8 / WSE8 200
MK-WSF12 / WSE12 12 300
フラット[MK-WSF] … 厚さ約70μ
エンボス[MK-WSE] … 厚さ約70μ+エンボス20μ
導電性クリーンペーパーでも製作できます。

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