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中性無塵紙・導電性クリーンペーパー製品
ウエハー用クリーン合紙 MK-WSF・WSE
クリーンルーム対応・ウエハーに挟むスペーサー挿間紙 |
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特 徴 |
■クリーンペーパーや導電性の無塵紙を加工した製品。
■加工から包装までクリーンルームで行います。
■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
■RoHSやREACHなど有害物質規制に該当しません。
■エンボス加工を施したタイプとフラットの2種類。 |
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用 途 |
●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。
●クリーンルーム内で使用する合紙や挿間紙として。
●静電気対策が必要な用途には、導電性を使います。
●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上します。
■他のウエハー用ケース・クッションは…≫ |
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ウエハー用クリーン合紙MK-WSE
(一般・エンボスタイプ) |
ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます |
通常の紙製品は大量に紙粉を発生するため、クリーンルーム内やデリケートな製品には使いません。
特にウエハーの合紙(挿間紙)として使うときには、「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
本製品の素材には、破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー(無塵紙)を採用しており、中性紙および導電紙の2種類から選ぶことができます。さらに必要に応じて、表面に微少なエンボス加工(凹凸処理)を施すことも可能です。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、「フラットタイプ」よりもクッション性が向上します。さらに紙を剥がすときに吸着が発生しないため、作業性が向上します。
また「導電性グレード」には導電性無塵紙MK-CCPを採用しており、厳しい静電気対策が必要な環境下でも使うことができ、「一般グレード」は中性クリーンペーパーを使うことで、デリケートな金属に対して酸化や腐食反応を防止します。
本製品は、加工から包装まで全行程をクリーンルーム内で行っており、「ウエハー用クリーン合紙」を挿間紙スペーサーとして使用することで、安心して保管・運搬ができます。 |
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製品詳細 |
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一般・フラットタイプ MK-WSF |
●エンボスがないフラットな一般型です。
●ウエハーの間に挟んで傷付きやガタを防止。
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●中性紙なので、金属に対して酸化・腐食を防止。
●厚さ:70μ |
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一般・エンボスタイプ MK-WSE |
●20μ厚×3㎜角にてエンボス加工済み。
●微少な凹凸でクッション性と剥離性が向上
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●中性紙なので、金属に対して酸化・腐食を防止。
●厚さ:70μ+エンボス20μ |
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導電性・フラットタイプ MK-WS(AS)F |
●エンボスがないフラットな導電性タイプです。
●ウエハーの間に挟んで傷付きやガタを防止。
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●厳しい静電気対策が必要な環境で使えます。
●導電性クリーンペーパーMK-CCPを使用。
●厚さ:90μ |
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導電性・エンボスタイプ MK-WS(AS)E |
●20μ厚×3㎜角にてエンボス加工済み。
●微少な凹凸でクッション性と剥離性が向上
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●厳しい静電気対策が必要な環境で使えます。
●導電性クリーンペーパーMK-CCPを使用。
●厚さ:90μ+エンボス20μ |
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一般(フラット/エンボス) |
導電性(フラット/エンボス) |
インチ |
直径 [mm] |
枚数 |
MK-WSF4 / MK-WSE4 |
MK-WS(AS)F4 / MK-WS(AS)E4 |
4 |
100 |
500枚 |
MK-WSF5 / MK-WSE5 |
MK-WS(AS)F5 / MK-WS(AS)E5 |
5 |
125 |
500枚 |
MK-WSF6 / MK-WSE6 |
MK-WS(AS)F6 / MK-WS(AS)E6 |
6 |
150 |
500枚 |
MK-WSF8 / MK-WSE8 |
MK-WS(AS)F8 / MK-WS(AS)E8 |
8 |
200 |
500枚 |
MK-WSF12 / MK-WSE12 |
MK-WS(AS)F12 / MK-WS(AS)E12 |
12 |
300 |
500枚 |
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