導電性ウエハー用容器ケースに、クリーンルーム用導電性クッション材や挿間紙・合紙を入れて梱包します。

タニムラ株式会社

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クリーンルーム用
ウエハー保管・梱包シリーズ
ケース・容器・クッション・合紙・挿間紙
購入方法
クリーンルームでウエハーを安全に保管・搬送する方法

ウエハーを安全に保管・搬送するには、最低限以下の製品が必要です。
●ウエハー用ケース・外側容器
●ウエハー同士の間に挟む合紙・挿間紙
●底面・上面に敷くクッション材
一般的な文具は使わず専用品として設計された以下の製品を使用します。
良質な製品はトラブルを抑えますが、粗悪な製品では対応できません。
安定した作業を継続するには高品質な製品を選定する必要があります。

ウエハー保管用ケース・挿間合紙・クッション材
ウエハー用無塵紙ケース MK-WBP
ウエハー用ケース・ボックス・クリーンルーム用紙箱容器
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●クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
●破れ、擦り、揉みを行っても粉塵がほとんど出ません。
●JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
●燃えるゴミとして廃棄できます。
●クリーンルーム内で安心して使用できます。
●5インチのみ

導電性樹脂ケース MK-WBR
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器8インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
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●長期間安定した特性を発揮する導電性樹脂を使用。
●蓋を閉めることで完全密封が可能です。(6"を除く)
●蓋を閉じて約10度回すとロックが可能。(8"のみ)
●安定した段積みが可能な勘合形状です。
●表面抵抗値は108[Ω]以下と非常に優れています。
●5インチから8インチまで

導電性ウエハー用クッション TN-CWC

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導電性クリーンフォームを加工した製品です。
●ピンクの帯電防止とは違い、粉が出ずに永久持続。
●一般のクッション材とは違い、残渣が無く粉塵を防止。
●低VOC(揮発性有機化合物)&フォギングを防止。
●表面抵抗値は1×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
●5インチから12インチまで

ウエハー用クリーン合紙・挿間紙 MK-WSF・WSE
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。無塵紙(クリーンペーパー)製。
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クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
●クリーンルームにて加工後真空パックしています。
●破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
●RoHSやREACHの有害物質規制に該当しません。
●表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの2種類。
●5インチから12インチまで