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静電気帯電防止 クリーン導電性ウエハー用ケース/樹脂容器 MK-WBR
（クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス） |
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| 特 徴 |
■導電性カーボンを樹脂に添加し、安定した導電性を実現。
■表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
■蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"汎用を除く）
■約10度回してフタを閉じ、ﾛｯｸが可能。（8"および12"のみ）
■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。(12"を除く) |
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 クリーンルーム対応 導電性ウエハーケース（帯電防止）
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クリーンルーム内では静電気対策を施していない一般製品は持ち込みません。ホコリや粉塵を寄せ集 |
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める為です。 すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。 |
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本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。 |
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また密封性に優れているため蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能。（6"汎用を除く） |
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すなわちクリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。 |
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強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。 |
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| 詳細説明および製品写真 |
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■５インチ変換アダプター [WBR-AT}
【仕様】
・内径： φ128㎜×12㎜ （外形：176×176×H24㎜）
・重量： 170ｇ （フタ込み）
【特徴】
・６”スリムケースに装着することで５インチウエハーに対応。
・簡単に装着できます。（６”スリムケース専用）
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６
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■６インチスリムケース [WBR-6S]
【仕様】
・内径： φ152㎜×12㎜ （外形：176×176×H24㎜）
・重量： 150ｇ
【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・５”変換アダプターを使用して５インチウエハーに対応。
・テープなどにより完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。
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■６インチ汎用ケース [WBR-6]
【仕様】
・内径： φ152㎜×30㎜ （外形：φ165×H40㎜）
・重量： 160ｇ
【特徴】
・軽量な円筒型ケースです。
・容器のリブ（壁）に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。
・安定した段積みが可能です。
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■８インチ用ケース（ロック機構付き）[WBR-8]
【仕様】
・内径： φ201㎜×21㎜ （外形：226×226×H43㎜）
・重量： 400ｇ
【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・対角方向に「取り出し口」が付いたタイプもご用意できます。
・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
・テープ等により完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。
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12
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■１２インチ用ケース（ロック機構付き）[WBR-12]
【仕様】
・内径： φ302㎜×44㎜ （外形：二面幅330×H78㎜）
・重量： 1280ｇ
【特徴】
・8角形で耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
・本体側面に取っ手用の切り欠きがあり、簡単に持ち運べます。
・テープ等により完全密閉が可能です。
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| 仕様 および試験データ |
| 材質 |
導電性PP樹脂 |
| 色 |
導電ブラック |
| サイズ （インチ径） |
5" ・ 6" ・ 8" ・ 12" |
| 表面電気抵抗値 |
108 [Ω] 以下 |
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カタログ（PDF形式ファイル 320KB）