TSIタニムラハイテク情報サービス

製品に関するお問い合わせはこちら0742-506-506

  • ページ番号:M177

静電気帯電防止
クリーン導電性ウエハー用ケース・樹脂容器MK-WBR
クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス
カタログのダウンロード購入方法
特  徴
■カーボンを樹脂に練り込み、安定した導電性能。
■表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
■蓋を閉めることで完全密封が可能です。(6"汎用以外)
■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。(8"のみ)
■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。
用  途
●クリーンルームで使用するウエハー搬送ケースとして。
●ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。
●密封性が必要なプラスチック容器として。
●ウエハー用スペーサー・クッションなどは…≫

クリーンルーム内では静電気対策をしていない一般製品は、ホコリや粉塵を吸着するため持ち込みません。
すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。
本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
また密封性に優れているため、蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能(6"汎用を除く)なので、クリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。
強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。

詳細説明および製品写真

5インチ
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器5インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
写真クリックで拡大ページ
■5インチ変換アダプター WBR-AT

【仕様】

・内径: φ128㎜×12㎜ (外形:176×176×H24㎜)
・重量: 170g (フタ込み)

【特徴】
・6”スリムケースに装着することで5インチウエハーに対応。
・簡単に装着できます。(6”スリムケース専用)
6インチ
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器6インチスリムケースです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
写真クリックで拡大ページ
■6インチスリムケース WBR-6S

【仕様】
・内径: φ152㎜×12㎜ (外形:176×176×H24㎜)
・重量: 150g

【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・5”変換アダプターを使用して5インチウエハーに対応。
・テープなどにより完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器6インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
写真クリックで拡大ページ
■6インチ汎用ケース WBR-6

【仕様】
・内径: φ152㎜×30㎜ (外形:φ165×H40㎜)
・重量: 160g

【特徴】
・軽量な円筒型ケースです。
・容器のリブ(壁)に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。
・安定した段積みが可能です。
8インチ
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器8インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。
写真クリックで拡大ページ
■8インチ用ケース(ロック機構付き) WBR-8

【仕様】
・内径: φ201㎜×21㎜ (外形:226×226×H43㎜)
・重量: 400g

【特徴】
・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
・対角方向に「取り出し口」が付いたタイプもご用意できます。
・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
・テープ等により完全密閉が可能です。
・安定した段積みが可能です。

共通の仕様
材質 導電性PP樹脂
導電ブラック
サイズ (インチ径) 5" ・ 6" ・ 8"
表面電気抵抗値 108 [Ω] 以下

copylight (c) 2005 tanimura corp. All rights reserved.