ウエハー用樹脂ケース・クリーンルーム用導電性容器 [タニムラ株式会社]

製品に関するお問い合わせはこちら0742-506-506

ページ番号：M177

静電気帯電防止
クリーン導電性ウエハー用ケース・樹脂容器MK-WBR
クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス

特　　徴

■カーボンを樹脂に練り込み、安定した導電性能。
■表面抵抗値が10⁸[Ω]以下と非常に優れています。
■蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"汎用以外）
■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。（8"のみ）
■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。

用　　途

●クリーンルームで使用するウエハー搬送ケースとして。
●ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。
●密封性が必要なプラスチック容器として。
●ウエハー用スペーサー・クッションなどは…≫

クリーンルーム対応導電性ウエハーケース（帯電防止）

クリーンルーム内では静電気対策をしていない一般製品は、ホコリや粉塵を吸着するため持ち込みません。
すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。
本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が10⁸[Ω]以下と非常に優れています。
また密封性に優れているため、蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能（6"汎用を除く）なので、クリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。
強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。

詳細説明および製品写真

５インチ
写真クリックで拡大ページ	■５インチ変換アダプター WBR-AT 【仕様】・内径： φ128㎜×12㎜（外形：176×176×H24㎜）・重量： 170ｇ（フタ込み）【特徴】・６”スリムケースに装着することで５インチウエハーに対応。・簡単に装着できます。（６”スリムケース専用）

６インチ
写真クリックで拡大ページ	■６インチスリムケース WBR-6S 【仕様】・内径： φ152㎜×12㎜（外形：176×176×H24㎜）・重量： 150ｇ【特徴】・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。・５”変換アダプターを使用して５インチウエハーに対応。・テープなどにより完全密閉が可能です。・安定した段積みが可能です。

写真クリックで拡大ページ	■６インチ汎用ケース WBR-6 【仕様】・内径： φ152㎜×30㎜（外形：φ165×H40㎜）・重量： 160ｇ【特徴】・軽量な円筒型ケースです。・容器のリブ（壁）に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。・安定した段積みが可能です。

８インチ
写真クリックで拡大ページ	■８インチ用ケース（ロック機構付き） WBR-8 【仕様】・内径： φ201㎜×21㎜（外形：226×226×H43㎜）・重量： 400ｇ【特徴】・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。・対角方向に「取り出し口」が付いたタイプもご用意できます。・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。・テープ等により完全密閉が可能です。・安定した段積みが可能です。

共通の仕様
材質	導電性PP樹脂
色	導電ブラック
サイズ（インチ径）	5" ・ 6" ・ 8"
表面電気抵抗値	10⁸ [Ω] 以下

クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・導電性樹脂プラスチックウエハー容器