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  • ページ番号:M157

クリーンルーム用
ウエハー用無塵紙ケース MK-WBP
クリーンペーパー製ボックス容器
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特  徴
クリーン厚紙(無塵紙)を加工した製品です。
■破れ、擦り、揉みを行っても粉塵がほとんど出ません。
■クリーンルーム内で安心して使用できます。
■燃えるゴミとして廃棄できます。
■6インチ用のみ販売しております。
用  途
●クリーンルーム内で紙箱ケース/ボックスを使用する時。
●半導体ウエハーの保管・運搬送に。
●クリーンルーム内で使用する合紙(挿間紙)として。
●他のサイズや樹脂製品はMK-WBRをご使用ください。
●ウエハー用合紙やクッションは…>
ウエハー用ケース・ボックス・クリーンルーム用紙箱容器
無塵紙製
クリーンルーム用ウエハーボックスMK-WBP

一般の紙箱ケースや容器は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
クリーンルームで使用する紙容器は、専用に設計された「ウエハー用無塵紙ケース」を使用します。本製品はクリーンペーパー厚紙(無塵紙)から製作しており、破り・擦り・揉みに対して紙粉や発塵を抑えます。
そして半導体ウエハーに最適な円筒形形状になっており、6インチのみに対応します。
ウエハー用クリーン合紙をウエハー間に挟んで使用することで、安全に保管・運搬送ができます。
さらにウエハー用クッションを使用することで、クリーンルーム内でも安心して保管・運搬ができます。
※他のサイズが必要な場合は、樹脂製ウエハーケースをご使用ください。
■ウエハー用ケース・クッションなどは…≫

製品詳細

無塵紙の試験データ (参考値)

ウエハー用ケース・ボックス・クリーンルーム用紙箱容器です。クリーンペーパー製品です。
試験データ
項目 単位 計測値
色相 ライトブルー
発塵性 もみ 個/CF
(0.3μm以上)
0 ※
      こすり 6 ※
      破り 5 ※
離解性 (離解残渣) 3
※一般上質紙の発塵量
 もみ:約85,600個 こすり:約3,000個 破り:約37,700個

ウエハー用無塵紙ケースの規格サイズ
MK-WBP 規格サイズ
型番 ウエハーサイズ [inch] 内径 [mm]
MK-WBP-6 6" 155
※他のサイズは導電性ウエハーケースをご使用下さい。

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