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クリーンルーム用 ウエハー用無塵紙ケース MK-WBP
(ウエハー用クリーンペーパー製ボックス容器) |
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特 徴 |
■クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
■破れ、擦り、揉みを行っても粉塵がほとんど出ません。
■クリーンルーム内で安心して使用できます。
■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
■燃えるゴミとして廃棄できます。
■5インチ用・6インチ用の2種類をラインナップ。 |
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クリーンルーム内で紙容器を使用する
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一般の紙箱ケースや容器は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。 |
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クリーンルームで使用する紙容器は、専用に設計された「ウエハー用無塵紙ケース」を使用します。 |
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本製品はクリーンペーパー(無塵紙)から製作しており、破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えます。 |
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そして半導体ウエハーに最適な円筒形形状になっており、5インチと6インチの2種類に対応します。 |
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ウエハー用クリーン合紙をウエハー間に挟んで使用することで、安全に保管・運搬送ができます。 |
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ウエハー用無塵紙ケースを使用することで、クリーンルーム内でも安心して保管・運搬ができます。 |
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※他のサイズが必要な場合は、樹脂製ウエハーケースをご使用ください。 |
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■その他ウエハー用ケース・クッションなどは…≫ |
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製品詳細 |
無塵紙の試験データ (参考値) |
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試験データ |
項目 |
単位 |
計測値 |
色相 |
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ライトブルー |
発塵性 もみ |
個/CF
(0.3μm以上) |
0 ※ |
こすり |
6 ※ |
破り |
5 ※ |
離解性 (離解残渣) |
% |
3 |
※一般上質紙の発塵量
もみ:約85,600個 こすり:約3,000個 破り:約37,700個
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ウエハー用無塵紙ケースの規格サイズ |
MK-WBP 規格サイズ |
型番 |
ウエハーサイズ [inch] |
内径 [mm] |
MK-WBP-5 |
5" |
130 |
MK-WBP-6 |
6" |
155 |
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※その他のサイズは導電性ウエハーケースをご使用下さい。 |
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