| 粉塵個数（1m3内） |
クリーンルームの規格・クラス |
| 粒径 0.1μm |
粒径 0.5μm |
ISO14664-1 |
JIS B 9920 |
Fed 209E |
Fed 209D |
| 10 |
|
Class 1 |
クラス 1 |
|
|
| 100 |
4 |
Class 2 |
クラス 2 |
|
|
| 350 |
10 |
|
|
M 1 |
|
| 1,000 |
35 |
Class 3 |
クラス 3 |
M 1.5 |
クラス 1 |
| 3,500 |
100 |
|
|
M 2 |
|
| 10,000 |
352 |
Class 4 |
クラス 4 |
M 2.5 |
クラス 10 |
| 35,000 |
1,000 |
|
|
M 3 |
|
| 100,000 |
3,520 |
Class 5 |
クラス 5 |
M 3.5 |
クラス 100 |
|
10,000 |
|
|
M 4 |
|
| 1,000,000 |
35,200 |
Class 6 |
クラス 6 |
M 4.5 |
クラス 1000 |
|
100,000 |
|
|
M 5 |
|
|
352,000 |
Class 7 |
クラス 7 |
M 5.5 |
クラス 10000 |
|
1,000,000 |
|
|
M 6 |
|
|
3,520,000 |
Class 8 |
クラス 8 |
M 6.5 |
クラス 100000 |
|
10,000,000 |
|
|
M 7 |
|
|
35,200,000 |
Class 9 |
− |
− |
− |
|
