クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・導電性樹脂プラスチックウエハー容器

包装資材・機器の総合商社タニムラ株式会社
ページ番号・・・M177
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クリーンルーム用品・無塵紙・クリーンペーパーロールESD静電気帯電防止・静電気対策用品 カタログ(PDF形式ファイル 320KB)
静電気帯電防止 クリーン導電性ウエハー用ケース/樹脂容器 MK-WBR
(クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス)
購入、販売方法・ご質問
特  徴
■導電性カーボンを樹脂に添加し、安定した導電性を実現。
■表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
■蓋を閉めることで完全密封が可能です。(6"汎用を除く)
■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。(8"および12"のみ)
■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。(12"を除く)
用  途
●クリーンルームで使用するウエハー搬送用ケースとして。
●ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。
●密封性が必要なプラスチック容器として。
       ウエハー用スペーサー・クッションなどは…≫
クリーンルーム内では静電気対策を施していない一般製品は持ち込みません。ホコリや粉塵を寄せ集
める為です。 すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。
本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。
また密封性に優れているため蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能。(6"汎用を除く)
すなわちクリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。
強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。
詳細説明および製品写真




静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器5インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。 5インチ変換アダプター [WBR-AT}

【仕様】

 ・内径: φ128o×12o (外形:176×176×H24o)
 ・重量: 170g (フタ込み)
【特徴】
 ・6”スリムケースに装着することで5インチウエハーに対応。
 ・簡単に装着できます。(6”スリムケース専用)




静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器6インチスリムケースです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。 6インチスリムケース [WBR-6S]

【仕様】
 ・内径: φ152o×12o (外形:176×176×H24o)
 ・重量: 150g
【特徴】
 ・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
 ・5”変換アダプターを使用して5インチウエハーに対応。
 ・テープなどにより完全密閉が可能です。
 ・安定した段積みが可能です。
静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器6インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。 6インチ汎用ケース [WBR-6]

【仕様】
 ・内径: φ152o×30o (外形:φ165×H40o)
 ・重量: 160g
【特徴】
 ・軽量な円筒型ケースです。
 ・容器のリブ(壁)に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。
 ・安定した段積みが可能です。




静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器8インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。 8インチ用ケース(ロック機構付き)[WBR-8]

【仕様】
 ・内径: φ201o×21o (外形:226×226×H43o)
 ・重量: 400g
【特徴】
 ・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
 ・対角方向に「取り出し口」が付いたタイプもご用意できます。
 ・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
 ・テープ等により完全密閉が可能です。
 ・安定した段積みが可能です。
12



静電気帯電防止クリーンルーム用導電性ウエハー用ケース・樹脂容器12インチです。ウエハー収納搬送用ボックスとして。 12インチ用ケース(ロック機構付き)[WBR-12]

【仕様】
 ・内径: φ302o×44o (外形:二面幅330×H78o)
 ・重量: 1280g
【特徴】
 ・8角形で耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。
 ・蓋は約10度回転させて閉じ、ロック機構で不用意に外れません。
 ・本体側面に取っ手用の切り欠きがあり、簡単に持ち運べます。
 ・テープ等により完全密閉が可能です。
仕様 および試験データ
材質 導電性PP樹脂
導電ブラック
サイズ (インチ径) 5" ・ 6" ・ 8" ・ 12"
表面電気抵抗値 108 [Ω] 以下

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