クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・クリーンペーパー(無塵紙)スペーサー(ウエハーの間に挟む)

包装資材・機器の総合商社タニムラ株式会社
ページ番号・・・M265
会社案内お問い合わせプレスリリースメーカーリンクカタログ商品索引タニムラ株式会社・タニムラ(株)
トップページクリーンルーム用品≫クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・無塵紙スペーサー(ウエハーの間に挟む)
クリーンルーム用品・無塵紙・クリーンペーパーロール カタログ(PDF形式ファイル 400KB)
無塵紙製品ウエハー用クリーン合紙(クリーンパック品)MK-WSF/WSE
(クリーンルーム対応 ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙)
購入、販売方法・ご質問
特  徴
クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
■クリーンルームにて加工後真空パックしています。
■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
■表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの2種類。
用  途
●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。
●クリーンルーム内で使用する合紙(挿間紙)として。
●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上します。
導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。
              ■その他ウエハー用ケース・クッションなどは…≫
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。無塵紙(クリーンペーパー)製。
※写真はMK-WSEエンボスタイプ
一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
ウエハーの合紙(挿間紙)を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの2種類から選択できます。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。
本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー(無塵紙)を使用しています。
それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック(クリーンパック)を行っています。
「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。
製品詳細
1. ウエハークリーン合紙の種類
クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。表面にエンボス加工済み。無塵紙(クリーンペーパー)製。 クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・スペーサーです。表面は平坦なフラット。無塵紙(クリーンペーパー)製。
エンボスタイプ MK-WSE フラットタイプ MK-WSF
●表面に20μ厚×3o角にてエンボス加工済み。
●薄さを保持しつつクッション性と剥離性が向上します。
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●クリーンルームで加工→真空パック品。(クリーンパック)
●厚さ…90μ+エンボス20μ
             
■その他ウエハー用ケース・クッションなどは…≫
●表面はエンボスがないフラットな一般型です。
●ウエハーの間に挟んで傷付きやガタを防止します。
●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
●クリーンルームで加工→真空パック品。(クリーンパック)
●厚さ…90μ
2. 規格サイズ
型 番 インチ 直 径 [mm]
MK-WSF4 / WSE4 100
MK-WSF5 / WSE5 125
MK-WSF6 / WSE6 150
MK-WSF8 / WSE8 200
MK-WSF12 / WSE12 12 300

クリーンルーム用クッション保護緩衝材・保温断熱材 | クリーンルーム用包装紙・保護梱包ペーパー・無塵養生シート
クリーンルーム用緩衝材・導電性クッション材・スポンジフォーム | クリーンルーム用作業用マット低反発クッション・帯電防止
ウエハー用クッション・クリーンルーム用導電性・帯電防止緩衝材 | クリーンルーム用ウエハー合紙挿間紙・無塵紙スペーサー
クリーンルーム作業用膝用クッションマット
クリーンルーム用クッションフォーム材・スポンジ緩衝材
| 静電気帯電防止スポンジクッション・保護緩衝材
低VOC(揮発性有機化合物)
| 耐・低フォギング性 | 発泡ポリエチレン | 揮発性有機化合物(VOC)


copylight (c) 2005 tanimura corp. All rights reserved.