クリーンルーム用ウエハー合紙・挿間紙・クリーンペーパー（無塵紙）スペーサー（ウエハーの間に挟む）

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無塵紙製品ウエハー用クリーン合紙（クリーンパック品）MK-WSF/WSE
（クリーンルーム対応ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙）

特　　徴

■クリーンペーパー（無塵紙）を加工した製品です。
■クリーンルームにて加工後真空パックしています。
■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
■表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの２種類。

用　　途

●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。
●クリーンルーム内で使用する合紙（挿間紙）として。
●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上します。
●導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。
　　　　　　　　　　　　　　■その他ｳｴﾊｰ用ｹｰｽ・ｸｯｼｮﾝなどは…≫

※写真はMK-WSEエンボスタイプ


	ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます
	一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。

	ウエハーの合紙（挿間紙）を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。

	表面にエンボス加工を施したWSEとフラットなWSFの２種類から選択できます。

	「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、ｸｯｼｮﾝ性と剥離性が向上します。

	本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー（無塵紙）を使用しています。

	それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック（クリーンパック）を行っています。

	「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。

製品詳細

１．ウエハークリーン合紙の種類


エンボスタイプ MK-WSE		フラットタイプ MK-WSF
●表面に20μ厚×3㎜角にてｴﾝﾎﾞｽ加工済み。 ●薄さを保持しつつｸｯｼｮﾝ性と剥離性が向上します。 ●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。 ●ｸﾘｰﾝﾙｰﾑで加工→真空ﾊﾟｯｸ品。（ｸﾘｰﾝﾊﾟｯｸ） ●厚さ…90μ＋エンボス20μ 　　　　　　　　　　　　　 ■その他ｳｴﾊｰ用ｹｰｽ・ｸｯｼｮﾝなどは…≫		●表面はｴﾝﾎﾞｽがないﾌﾗｯﾄな一般型です。 ●ｳｴﾊｰの間に挟んで傷付きやガタを防止します。 ●破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。 ●ｸﾘｰﾝﾙｰﾑで加工→真空ﾊﾟｯｸ品。（ｸﾘｰﾝﾊﾟｯｸ） ●厚さ…90μ

２．規格サイズ

※フラット[MK-WSF] … 厚さ約90μ
　エンボス[MK-WSE] … 厚さ約90μ+エンボス20μ
※導電性仕様も別注にて対応できます。

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