クリーンルーム用ウエハー用導電性クッション緩衝材・帯電防止クリーンルーム用クッション緩衝材

包装資材・機器の総合商社タニムラ株式会社
ページ番号・・・M217
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クリーンルーム用品・無塵紙・クリーンペーパーロールESD静電気帯電防止・静電気対策用品 カタログ(PDF形式ファイル 197KB)
クリーンルーム対応 導電性ウエハー用クッション TN-CWC
(静電気帯電防止クリーンルーム用クッション・緩衝材)
購入、販売方法・ご質問
特  徴
導電性クリーンフォームMK-CPF を加工した製品です。
■ピンクの帯電防止とは違い、永久帯電防止&ブリードなし。
■一般の発泡クッションとは違い、残渣が無く粉塵を防止。
■低VOC(揮発性有機化合物)の素材です。
■表面抵抗値は1×107 [Ω]と優れた帯電防止性能。
■金属腐食やフォギングの心配がありません。
用  途
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
●クリーンルームで使用する保護材・緩衝材として。
●発塵を抑えた保温断熱材・緩衝梱包・軽量化材料として。
●電子部品や機器類の通い箱用緩衝材として。
●ウエハー・電子基板やガラス基板の挿間紙・合紙
              ■その他ウエハー用ケース・クッションなどは…≫
本製品には導電性クリーンフォームMK-CPF を使用しております。
 ●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
 ●一般的な帯電防止材料(ピンクやブルー色)とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。
 ●ピンクやブルーとは違い、帯電防止剤が表面にブリード(析出)することがありません。
 ●低VOC(揮発性有機化合物)製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。
 ●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材(クッション材)特有の臭い」もありません。
   ※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアブローなどの表面清掃を行ってください。
試験データ および 写真
1.製品の詳細写真
導電性ウエハー用クッション材です。クリーンルーム用緩衝材フォームを使用しています。
導電性ウエハー用クッション [TN-CWC]
●化学発泡剤を一切使用せずに製作したPEフォームです。
●発泡剤の残渣がなく低VOCかつ特有の臭いがありません。
●安定した帯電防止効果を半永久的に発揮します。
導電性クリーンフォームMK-CPFを使用しています。

                     ■その他ウエハー用ケース・クッションなどは…≫

表面抵抗値 107 [Ω]
2.規格サイズ
インチ 型番 厚さ×直径 出荷単位
5インチ TN-CWC5-3  3×φ125o 100枚
TN-CWC5-5  5×φ125o 100枚
TN-CWC5-10 10×φ125o 100枚
6インチ TN-CWC6-3  3×φ150o 100枚
TN-CWC6-5  5×φ150o 100枚
TN-CWC6-10 10×φ150o 100枚
8インチ TN-CWC8-3  3×φ200o 100枚
TN-CWC8-5  5×φ200o 100枚
TN-CWC8-10 10×φ200o 100枚
12インチ TN-CWC12-3  3×φ300o 100枚
TN-CWC12-5  5×φ300o 100枚
TN-CWC12-10 10×φ300o 100枚
3.一般品との発生ガス比較 VOC/FOG
VOC値 [ppm] FOG値 [ppm]
本製品 161.3 37.6
化学発泡PEフォーム(汎用品) 355.2 418.1
※試験方法
サンプル7mgをガラスチューブに入れ、熱脱着装置にかける。
発生ガスをGC-MSにかけて分析を行った。
熱脱着条件:VOC値/90℃×30分間 FOG値/120℃×60分間
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)
4.パーティクル(粉塵)測定データ [個/CF]
粒 径 ≦0.3μm ≦0.5μm ≦0.7μm ≦1.0μm ≦2.0μm ≦3.0μm ≦5.0μm
サンプル1 191.7 150.7 125.7 98.3 56.3 35.7 24.7
サンプル2 419.7 316.7 272.7 226.3 132.3 93.0 68.7
サンプル3 387.3 270.0 233.0 181.7 107.0 59.0 38.7
平均値 332.9 245.8 210.5 168.8 98.5 62.6 44.0
※試験方法
IES-RP-CC0003-87-T基準 タンブラー法
気流垂直型クリーンベンチ内にて、一定速度で回転するタンブラーに資料を1個投入。
約10秒後にタンブラー内部のエアーを、レーザー式パーティクルカウンターで測定した。
(数値は実測値であり、保証値ではありません。)

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